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分子真空泵的概述
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分子真空泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
分子真空泵也有几类型，它具体可分为牵引分子真空泵、涡轮分子真空泵、复合分子真空泵。
①牵引分子真空泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。
②涡轮分子真空泵：靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。在许多应用中，涡轮分子真空泵可不用高真空阀门或粗真空阀。只是简单地一按电钮，泵便能开始工作。从大气压力可降至极限压力。这种系统可以通过涡轮分子泵进行粗抽，可一直加速到工作速度为止。这样就可以不用阀门、管道、阱、阀门控制器等真空元件。同时也消除了这些元件所带来的故障。因此涡轮分子泵系统所占的空间小，而且涡轮分子真空泵的安装方向不受限制，可在任意方向安装（用油润滑的泵除外，它只能在垂直±5°范围内工作）。这个特点，可用于安装位置受限制的地方。
③复合分子真空泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
分子真空泵一般是水冷或者风冷外壳（定子和外壳相连所以可以直接冷却），转子通过辐射散热到转子冷却。
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